CIGS硒化爐



太陽能CIGS製程，最高使用溫度 600ºC
加熱系統採控制器PID自動演算功能，搭配特殊設計之加熱器使均溫性極佳
採用質流量控制器精確控制各製程氣體
採用遠端控制、運用Gas box設計，保護人員安全
警報系統-對各項元件嚴密監控，當產生警報時能即時關閉各系統